752 |
혁신형기술개발사업 |
반도체 생산 공정을 위한 속도 1.5m/s, 가속도 2.5g급 Wafer Metrology 용 모션 스테이지 시스템 기술 개발 |
측정/검사 장비 |
751 |
혁신형기술개발사업 |
단일모듈을 이용한 저비용 고내열 니켈/주석 복합박막 공정장비기술개발 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
750 |
혁신형기술개발사업 |
반도체 에칭공정용 CVD-SiC 소재 Shroud Wedge 국산화기술개발 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
749 |
혁신형기술개발사업 |
차세대 고집적 시스템 반도체(자동차, ICT용 smart 기기용)용 fine pitch MEMS vertical probe card 기술 개발 |
측정/검사 장비 |
748 |
수출기업기술개발사업 |
반도체 SiP 패키지, SMT, Test Probe Board 제조 공정 Micro-Components에 대한 비젼 기반 전자동 LCR 테스트 핸들러 장비 개발 |
측정/검사 장비 |
747 |
수출기업기술개발사업 |
반도체장비 EFEM용 HFFU 개발 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
746 |
WC300 R&D |
과불화합물 배출 규제 대응을 위한 1000 LPM급, 처리 효율 98%, 전력 20KW 이하의 플라즈마와 촉매의 하이브리드 시스템 개발 |
기타 반도체장비 |
745 |
WC300 R&D |
MEMS 기술을 이용한 극초미세 30㎛ pitch 및 초고속 32Gbps 반도체용 차세대 검사 장치 개발 |
측정/검사 장비 |
744 |
구매조건부신제품개발사업(국내수요처) |
PCB Lot Auto Merge System |
패키징장비 |
743 |
구매조건부신제품개발사업(국내수요처) |
다중 코팅 융합 기술을 접목한 방오, 제품킬러형 결함 방지 및 제품 패턴 에지 거칠기 개선 기능을 갖는 고객사 수율 향상형 포토마스크 개발 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
742 |
구매조건부신제품개발사업(국내수요처) |
반도체 1x 공정 대응을 위한 진공 챔버 부품용 F base 코팅 기술개발 |
이온주입장비 |
741 |
창업성장-기술개발사업 |
탄소섬유(Carbon Fiber)와 고무재질의 실리콘(Rubber Silicone)을 이용한 WLCSP/FOWLP 및 미세피치 검사용 테스트 소켓 |
측정/검사 장비 |
740 |
창업성장-기술개발사업 |
인공지능을 적용한 3차원 정밀측정 및 2차원 패턴/무패턴 검사 시스템 |
측정/검사 장비 |
739 |
도약기술개발사업 |
산업용 로봇 및 자동화 장비의 위치 교정용 웨이퍼 타입 비젼 시스템 |
측정/검사 장비 |
738 |
도약기술개발사업 |
2차원 반도체 제조를 위한 이동식 플라즈마 수직형 화학기상증착 장비 개발 |
증착장비 |