기술분야별 지원과제 검색
기술분야별검색 내용
과제번호 C0509984
과제명 2차원 반도체 제조를 위한 이동식 플라즈마 수직형 화학기상증착 장비 개발
사업명 도약기술개발사업
공고명 2017년도 산학연협력 기술개발사업 시행계획 공고
세부공고명 2017년도 산학연협력 기술개발사업 도약(1차, 본선접수)
주관기관명 주식회사펨토사이언스
관리기관명 경기지방중소벤처기업청
전문기관명 중소기업기술정보진흥원
정부출연금 90,067,000
과제상태 성공
산업기술분류 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 증착장비
재검색 목록보기