767 |
창업성장-기술개발사업 |
친환경 포토마스크 양면 클린 장비 개발 |
세정장비 |
766 |
구매조건부신제품개발사업(국내수요처) |
10nm급 ALD 고품질 고속 제어 모니터링 시스템 및 모듈 개발 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
765 |
구매조건부신제품개발사업(해외수요처) |
반도체 CMP 공정의 슬러리 저감을 위한 이중 슬릿(Slit)구조의 다공(Multi-hole) 노즐 및 이를 적용한 딜리버리 암(Delivery arm) 개발 |
기타 반도체장비 |
764 |
구매조건부신제품개발사업(국내수요처) |
Wafer Probe Test용 냉각유체의 고저온 변환 온도제어 시스템 국산화 개발 |
열처리장비 |
763 |
구매조건부신제품개발사업(국내수요처) |
Photo Mask 보호용 Pellicle의 지능형 3차원 측정 Review System 개발 |
측정/검사 장비 |
762 |
창업성장-기술개발사업 |
임피던스 매칭 고정밀 케이블 제작이 가능한 자동 케이블 제작 및 검사 시스템 개발 |
측정/검사 장비 |
761 |
맞춤형 기술파트너 지원사업 |
필름 검사 장비 대용량 이미지 분석에 대한 기술 애로해결에 대한건 |
측정/검사 장비 |
760 |
구매조건부신제품개발사업(민관공동투자) |
마스크 건식 세정 설비 개발 |
세정장비 |
759 |
구매조건부신제품개발사업(해외수요처) |
Package-less 3D Bump Test용 저손실, 고주파 Contact Solution 개발 |
측정/검사 장비 |
758 |
도약기술개발사업 |
TSV를 이용한 3차원 적층기술을 위한 웨이퍼 본딩 장비 개발 |
패키징장비 |
757 |
중소기업R&D기획지원사업 |
RF GENERATOR & MATCHER용 AUTO DUAL FREQUENCY POWER SPLITTER 개발 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
756 |
맞춤형 기술파트너 지원사업 |
그래핀 결함 치유 용 Table-top ALD 개발 |
증착장비 |
755 |
맞춤형 기술파트너 지원사업 |
미세피치 테스트 소켓의 수명 향상을 위한 실리콘 러버와 전도성 입자간의 결합력 향상 방법 개발 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
754 |
맞춤형 기술파트너 지원사업 |
고분자 화합물을 기반으로 한 유연 소재 시편 전용의 저온 성형 공정 최적화 연구 |
폴리싱(CMP) 장비 |
753 |
맞춤형 기술파트너 지원사업 |
차세대 에너지 소자용 산화 세륨 박막의 플라즈마 원자층 증착 및 결정성 제어 기술 개발 |
증착장비 |