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창닫기과제번호 | C0508918 |
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과제명 | 차세대 에너지 소자용 산화 세륨 박막의 플라즈마 원자층 증착 및 결정성 제어 기술 개발 |
사업명 | 맞춤형 기술파트너 지원사업 |
공고명 | 2017년도 맞춤형 기술파트너 지원사업 시행계획 공고 |
세부공고명 | (2차) 2017년도 맞춤형 기술파트너 지원사업 과제 신청접수 |
주관기관명 | 서울대학교산학협력단 |
관리기관명 | 중소기업기술정보진흥원 |
전문기관명 | 중소기업기술정보진흥원 |
정부출연금 | 20,000,000 |
과제상태 | 성공 |
산업기술분류 | 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 증착장비 |