797 |
창업성장-기술개발사업 |
스마트 팩토리용 다중모드 스캐너 개발 |
기타 반도체장비 |
796 |
구매조건부신제품개발사업(국내수요처) |
초격차 메모리 공정을 위한 고속 벡터 모니터링 시스템에 관한 연구 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
795 |
중소기업 기술사업화 역량강화 사업 |
반도체 3D IC TSV(Through Silicon Via) 패키지 공정을 위한 비전도성 필름(NCF) 웨이퍼 범프면 부착용 Void 크기 10㎛ 이하의 진공 부착 장비 개발 |
패키징장비 |
794 |
혁신형기업기술개발 |
첨단 플립칩 반도체의 고효율 생산을 위한 대면적 멀티빔 레이저 리플로우 시스템 개발 |
패키징장비 |
793 |
중소기업R&D기획지원사업 |
프로브스테이션 R&D 기획 지원 |
측정/검사 장비 |
792 |
혁신형기업기술개발 |
반도체 공정 부산물 포집을 위한 사이클론 방식의 트랩 장치 기술개발 |
증착장비 |
791 |
중소기업R&D기획지원사업 |
반도체 가혹(harsh) 공정 맞춤식 온도 조절이 가능한 200 m3/h급 건식 진공펌프 개발 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
790 |
제품공정개선기술개발사업 |
ARC Plasma Torch에 최적화된 23kW급 DC Plasma Supply 성능개선 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
789 |
제품공정개선기술개발사업 |
반도체 가스실린더용 열전 냉온 자켓 개발 |
기타 반도체장비 |
788 |
WC300 R&D |
36KW급 고 발열 챔버 기반의 NAND/DRAM BI 테스터 및 9Gbps급 DRAM Component 테스터 개발 |
측정/검사 장비 |
787 |
WC300 R&D |
고성능, 고집적, Compact 타입의 In-Line EDS System 개발 |
측정/검사 장비 |
786 |
창업성장-기술개발사업 |
차세대 DRAM의 capacitance(유전량) 확보를 위한 공정장비 개발 |
열처리장비 |
785 |
창업성장-기술개발사업 |
공압 하중제어 방식을 이용한 Device 6면 검사용 반도체 Back-end 공정의 Assembly In-line System 개발 |
측정/검사 장비 |
784 |
중소기업R&D기획지원사업 |
반도체 초미세공정(10nm이하)에 필요한 농도측정 0.01wt% 이하 적용가능한 케미컬 및 슬러리용 반도체농도 센서 |
측정/검사 장비 |
783 |
창업성장-기술개발사업 |
플라즈마 내식성이 우수한 이트리아 후막 접합 플레이트 제조기술 개발 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |