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창닫기과제번호 | S2639407 |
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과제명 | 반도체 가혹(harsh) 공정 맞춤식 온도 조절이 가능한 200 m3/h급 건식 진공펌프 개발 |
사업명 | 중소기업R&D기획지원사업 |
공고명 | 2018년도 중소기업 R&D기획지원사업시행계획 공고(2차) |
세부공고명 | 2018년도 R&D기획지원사업시행계획 공고(2차)_전략과제 |
주관기관명 | 주식회사 플랜 |
관리기관명 | 중소기업기술정보진흥원 |
전문기관명 | 중소기업기술정보진흥원 |
정부출연금 | 25,500,000 |
과제상태 | 성공 |
산업기술분류 | 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |