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과제번호 S2652585
과제명 반도체 3D IC TSV(Through Silicon Via) 패키지 공정을 위한 비전도성 필름(NCF) 웨이퍼 범프면 부착용 Void 크기 10㎛ 이하의 진공 부착 장비 개발
사업명 중소기업 기술사업화 역량강화 사업
공고명 2018년 중소기업 기술사업화 역량강화 사업 시장친화형 기능개선(R&D) 추천과제 신청 접수 안내
세부공고명 2018년 중소기업 기술사업화 역량강화 사업 시장친화형 기능개선(R&D) 추천과제 신청 접수 안내
주관기관명 (주)대성엔지니어링
관리기관명 경기지방중소벤처기업청
전문기관명 중소기업기술정보진흥원
정부출연금 92,000,000
과제상태 성공
산업기술분류 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 패키징장비
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