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과제번호 S2605395
과제명 차세대 DRAM의 capacitance(유전량) 확보를 위한 공정장비 개발
사업명 창업성장-기술개발사업
공고명 2018년 창업성장기술개발사업 디딤돌창업과제 2차 시행계획 공고
세부공고명 2018년 창업성장기술개발사업 디딤돌창업과제 2차 시행계획 공고
주관기관명 알엔알랩
관리기관명 서울지방중소벤처기업청
전문기관명 중소기업기술정보진흥원
정부출연금 124,000,000
과제상태 실패
산업기술분류 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 열처리장비
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