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| 과제번호 | S2608638 |
|---|---|
| 과제명 | 반도체 초미세공정(10nm이하)에 필요한 농도측정 0.01wt% 이하 적용가능한 케미컬 및 슬러리용 반도체농도 센서 |
| 사업명 | 중소기업R&D기획지원사업 |
| 공고명 | 2018년도 중소기업 R&D기획지원사업 시행계획 공고(1차) |
| 세부공고명 | 2018년도 R&D기획지원사업(1차)_전략과제 |
| 주관기관명 | (주)솔트린 |
| 관리기관명 | 중소기업기술정보진흥원 |
| 전문기관명 | 중소기업기술정보진흥원 |
| 정부출연금 | 25,500,000 |
| 과제상태 | 성공 |
| 산업기술분류 | 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 측정/검사 장비 |
30141 세종특별자치시 집현중앙로 79, 중소기업기술정보진흥원(TIPA)
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