707 |
이공계전문가기술개발서포터즈사업 |
전자현미경에서 구현되는 Multi-Channel Video Amp. Mixer 개발 제작 건 |
측정/검사 장비 |
706 |
이공계전문가기술개발서포터즈사업 |
반도체 Collet 형상 자동검사 장비와 소켓테스트 장비의 고배율/저배율 자동전환 Dual Optic Vision Module 개발 |
측정/검사 장비 |
705 |
WC300 R&D 기술지원 |
10nm 이하 device 적용을 위한 차세대 드레서 연구 개발 |
폴리싱(CMP) 장비 |
704 |
WC300 R&D 기술지원 |
초박막 반도체 웨이퍼에서의 비접촉식 표면연마 및 절단 기술 개발 |
기타 반도체장비 |
703 |
WC300 R&D |
8층 재배선 공정을 활용한 DRAM用 18분기 1 Touch Down급 프로브카드 개발(Speed 200MHz, Min. Pin pitch : 55um, 100,000 pin 급) |
측정/검사 장비 |
702 |
창업성장-기술개발사업 |
차세대 반도체 Wafer 절단공정에 사용되는 Tape 고정 방식 대체용 레진 경화 필름 성형장비 개발 |
패키징장비 |
701 |
창업성장-기술개발사업 |
Turret 방식의 고정밀/고속 Wafer to Sorting & Taping 장비 개발 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
700 |
재창업기업아이디어신제품개발사업 |
Laser welding을 이용한 반도체 스퍼터링 E-chuck recycle system 개발 |
증착장비 |
699 |
중소기업융복합기술개발사업 |
MEMS Film을 부착한 Wire Rubber Type Test Socket 기술개발 |
측정/검사 장비 |
698 |
중소기업융복합기술개발사업 |
온도 변화에 따른 체적저항 감소율 10^1Ω㎝ 이하를 만족하는 세라믹 Electrode 개발 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
697 |
제품공정개선기술개발사업 |
반도체 CMP 장비용 SUPER ROTARY JOINT 제품 개선 |
폴리싱(CMP) 장비 |
696 |
중소기업R&D기획지원사업 |
5면 외관검사가 가능한 WLCSP용 고속 Flip Picker를 이용한 Pick & Place 장비 개발 |
측정/검사 장비 |
695 |
구매조건부기술개발사업(해외수요처) |
Logic IC용 40um Fine Pitch Vertical Probe Card 개발 |
측정/검사 장비 |
694 |
첫걸음과제 |
광학측정이 가능한 수직형 반도체 검사장치 개발 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
693 |
도약과제 |
OLED encapsulation layer 개발을 위한 R&D 시스템 전용 MO (Metal Organic) Source Delivery system 개발 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |