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| 과제번호 | S2454844 |
|---|---|
| 과제명 | 10nm 이하 device 적용을 위한 차세대 드레서 연구 개발 |
| 사업명 | WC300 R&D 기술지원 |
| 공고명 | (제한공모) 2016년 2차 WC300프로젝트 바우처연계 위탁연구형 공동개발 및 IP전략지원 안내 |
| 세부공고명 | (제한공모) 2016년 2차 WC300프로젝트 바우처연계 위탁연구형 공동개발 및 IP전략지원 안내 |
| 주관기관명 | 한양대학교 에리카 산학협력단 |
| 관리기관명 | 한국산업기술진흥원 |
| 전문기관명 | 한국산업기술진흥원 |
| 정부출연금 | 170,000,000 |
| 과제상태 | 과제진행중 |
| 산업기술분류 | 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 폴리싱(CMP) 장비 |
30141 세종특별자치시 집현중앙로 79, 중소기업기술정보진흥원(TIPA)
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