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창닫기No | 사업분류 | 과제명 | 세부분야 |
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722 | 도약과제 | 전기 임피던스 측정기반의 파릴렌 증착 모티터링 시스템 개발 | 측정/검사 장비 |
721 | 도약과제 | 대면적 HDP Plasma Source개발을 위한 기초 기술 MULTI POLE HDP ICP Source개발 | 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
720 | 첫걸음과제 | System 일체형 소형 Smart 반도체 웨이퍼 로딩/언로딩 시스템 개발 | 측정/검사 장비 |
719 | 도약과제 | 산업용 라인카메라를 이용한 시분할 영상획득 시스템 개발 | 측정/검사 장비 |
718 | 도약과제 | 메탈스프링 Unit type 능동형 제진장치 개발 | 기타 반도체장비 |
717 | 기술혁신개발사업 | 미소토출용 BGA 솔더볼 Flux 개발 및 선택/정량적 도포장치 개발 | 기타 반도체장비 |
716 | 기술혁신개발사업 | 8각 Cluster TM (Transfer Module) 개발 | 기타 반도체장비 |
715 | 기술혁신개발사업 | 강자성 물질을 증착할 수 있는 스퍼터링 시스템 및 공정기술 개발 | 증착장비 |
714 | 구매조건부기술개발사업(해외수요처) | 반도체Wafer 불량분석용 Emission Micro Scope를 위한 Direct Docking Prober 개발 | 측정/검사 장비 |
713 | 이공계전문가기술개발서포터즈사업 | 식각 종단점 검출 정확도 향상을 위한 알고리즘 개발 | 측정/검사 장비 |
712 | 구매조건부기술개발사업(민관공동투자) | 고속 Die 정합도 측정기 | 측정/검사 장비 |
711 | 창업성장-기술개발사업 | 0.3 밀리 피치 반도체 테스트소켓의 개발 | 측정/검사 장비 |
710 | 기술혁신개발사업 | 6kg/㎠급 고압의 유체 이송이 가능한 반도체 Wet 공정용 Air 구동 방식의 합성수지 다이어프램 밸브 개발 | 폴리싱(CMP) 장비 |
709 | 기술혁신개발사업 | 작업장 청정 유지용 고효율 저소음 초고속 BLDC 모터 및 Driver 개발 | 기타 반도체장비 |
708 | 기술혁신개발사업 | 200MHz High Speed 메모리 번인 시스템 개발 | 측정/검사 장비 |