782 |
수출기업기술개발사업 |
고온가혹환경(250℃)에 특화된 반도체 장비(RPS장치)용 초고진공(UHV) 게이트 밸브 개발 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
781 |
뿌리기업 공정기술개발 |
플라즈마 대체 습식 전처리공정 도입 및 코팅 소재 내구성 향상을 통한 고수율 기능성 포토마스크 제조 기술 개발 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
780 |
구매조건부신제품개발사업(해외수요처) |
UPH 25,000 이상의 전력반도체 PKG 제작용 Multi Clip Mounter 장비 개발 |
패키징장비 |
779 |
수출기업기술개발사업 |
Hybrid X-Ray검사방식을 이용한 SOP검사 시스템 개발 |
측정/검사 장비 |
778 |
제품공정개선기술개발사업 |
동작거리 정밀 측정용 고성능 레이저 제품기술 개발 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
777 |
제품공정개선기술개발사업 |
반도체, LCD, LED 제조장비 수리공정에 필요한 RF 정합장치인 MATCHING BOX의 VVC(VACUUM VARIABLE CAPACITOR) 검사장비 개선 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
776 |
제품공정개선기술개발사업 |
Bias를 이용한 Cu 공정용 정전척의 Metal Pad의 성능 개선 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
775 |
창조혁신형재도전기술개발 |
MCA Heater Refurbishment 시스템 개발(300mm 고온형) |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
774 |
기술전문기업협력과제 |
세라믹 복합소재의 Probe Card 홀 가공 제품 개발(6만홀이상) |
측정/검사 장비 |
773 |
혁신형기술개발사업 |
심자외선 LED 특성향상을 위한 AlN 버퍼 형성용 스퍼터 개발 |
증착장비 |
772 |
첫걸음기술개발사업 |
웨어러블 소자 응용을 위한 섬유 소재 기반 기능성 나노 코팅 장비 개발 |
증착장비 |
771 |
첫걸음기술개발사업 |
반도체 제조장비 실시간 관리시스템 개발 |
기타 반도체장비 |
770 |
(2단계)중소기업네트워크형사업 |
LaB6 전자총을 장착한 보급형 고분해능 영상 모니터링 및 측정 시스템 제품화 |
측정/검사 장비 |
769 |
중소기업 기술사업화 역량강화 사업 |
3.3M급 대형 Linear e-beam source의 성능개선 |
열처리장비 |
768 |
중소기업 기술사업화 역량강화 사업 |
접촉식 리소그래피용 정전기 방전 손상 방지를 위한 기능성 포토마스크 제조기술 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |