827 |
창업성장-기술개발사업 |
반도체 제조 공정용 진공 펌프 수명 연장을 위한 4KW급 변압기형 플라즈마 자동 세정 장치 및 제어 기술 개발 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
826 |
중소기업R&D기획지원사업 |
Wafer Position Confirm System개발 |
측정/검사 장비 |
825 |
중소기업R&D기획지원사업 |
반도체 생산장비용 가스관일체형 히터자켓 개발에 대한 R&D 기획 |
열처리장비 |
824 |
창업성장-기술개발사업 |
반도체 Vacuum Chamber Feedthrough용 Ceramic Insulator 제조기술 개발 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
823 |
창업성장-기술개발사업 |
스마트 팩토리형 멀티센싱 기능을 가지는 전자동 매거진 세정기 개발 |
세정장비 |
822 |
창업성장-기술개발사업 |
플라즈마 활성종 공급장치의 세계일류상품화를 위한 제품의 고도화 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
821 |
창업성장-기술개발사업 |
Warpage 보정 기능형 복합 박막 두께측정기 개발 |
기타 반도체장비 |
820 |
창업성장-기술개발사업 |
Compact Line Laser을 기반으로 하는 3D 표면형상 측정 시스템 개발 |
측정/검사 장비 |
819 |
창업성장-기술개발사업 |
반도체 생산성 향상을 위한 MEMS 기반 Rotary Linear Motor Picker 개발 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
818 |
제품공정개선기술개발사업 |
다중 SSD 포터블 메모리 평가장비의 개발 |
측정/검사 장비 |
817 |
산학연 Collabo R&D |
초미세 고정밀 자외선 경화를 활용한 디스펜싱 시스템 개발 |
패키징장비 |
816 |
산학연 Collabo R&D |
LN2 Storage 활용한 무진동 양자소자 평가 시뮬레이터 개발 |
측정/검사 장비 |
815 |
창업성장-기술개발사업 |
이종소재(異種素材)를 적용한 다층 유전체 구조를 가지는 세라믹 Electrode 개발 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
814 |
신진연구인력채용지원(참여기업접수용) |
대용량(1.5ton) Gas Battle 자동 공급 채결장치(Auto CGA Connection) |
측정/검사 장비 |
813 |
신진연구인력채용지원(참여기업접수용) |
2D materials 용 합성 공정 장비 설계 및 공정 기술 개발 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |