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과제번호 S2714949
과제명 반도체 생산장비용 가스관일체형 히터자켓 개발에 대한 R&D 기획
사업명 중소기업R&D기획지원사업
공고명 2019년도 중소기업 R&D기획지원사업 시행계획 공고(1차)
세부공고명 2019년 R&D기획지원사업(1차) 전략과제
주관기관명 주식회사 이지솔루션
관리기관명 중소기업기술정보진흥원
전문기관명 중소기업기술정보진흥원
정부출연금 25,500,000
과제상태 성공
산업기술분류 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 열처리장비
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