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과제번호 S2770862
과제명 반도체 제조 공정용 진공 펌프 수명 연장을 위한 4KW급 변압기형 플라즈마 자동 세정 장치 및 제어 기술 개발
사업명 창업성장-기술개발사업
공고명 2019년도 창업성장기술개발사업 ‘디딤돌 창업과제’ 제3차 시행계획 공고
세부공고명 2019년도 창업성장기술개발사업 ‘디딤돌 창업과제’ 제3차 시행계획 공고
주관기관명 주식회사 플랜
관리기관명 경기지방중소벤처기업청
전문기관명 중소기업기술정보진흥원
정부출연금 125,000,000
과제상태 완료
산업기술분류 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비
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