692 |
도약과제 |
In-situ 코어/쉘 나노입자 제조 및 증착 장비 개발 |
증착장비 |
691 |
도약과제 |
S-ATA 디스크로 SCSI 인터페이스 방식을 지원하며 OS까지 백업가능한 다기능(Multi Function) 백업 드라이브장치의 개발 |
기타 반도체장비 |
690 |
첫걸음과제 |
파인피치 대응이 가능한 반도체 디바이스 검사용 소켓의 개발 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
689 |
민간투자주도형기술창업사업 |
홀로그램 기반 초정밀 스마트 검사 장비 고도화 개발 |
측정/검사 장비 |
688 |
구매조건부기술개발사업(국내수요처) |
자동기류조정장치가 적용된 Chamber Uniformity ±3℃이내의 반도체 산업용 Hi Speed Burn-in Chamber 개발 |
측정/검사 장비 |
687 |
기술혁신개발사업 |
반도체 테스트 소켓 micro 포고핀의 텐션및 전기적특성을 자동으로 테스트하는 비젼위치 인식기반 "전자동 테스트 소켓 마이크로 포고핀 자동테스트장비" 개발 |
기타 반도체장비 |
686 |
지역강소기업경쟁력강화(2단계) |
전력 반도체용 초고온 열처리 공정장비 개발 |
열처리장비 |
685 |
민관공동투자기술개발사업 |
Metal / Polymer 0.4 Kg/cm2 고밀착 확보가능한 Cluster Type Sputter 설비개발 |
증착장비 |
684 |
민관공동투자기술개발사업 |
소성로내 산포 정밀 제어기술 |
열처리장비 |
683 |
민관공동투자기술개발사업 |
광에너지를 이용한 센서 및 플립칩 패키징용 접합 기술 및 장치 개발 |
패키징장비 |
682 |
민관공동투자기술개발사업 |
고온 공정용 일체형 타입의 7zone Heated ESC 개발 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
681 |
제품공정개선기술개발사업 |
인텔향 노트북용 소켓 및 포고핀 개발 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
680 |
제품공정개선기술개발사업 |
포토마스크 생산성, 품질개선을 위한 제품 품질편향 실시간 보정 프로그램 기술 개발 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
679 |
도약기술개발사업 |
고속, 고정밀도 TAB HANDLER에 사용되는 정밀 Stage 개발 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
678 |
창업성장-기술개발사업 |
초음파를 이용한 반도체용 showerhead홀 가공 기술 개발 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |