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과제번호 S2347287
과제명 포토마스크 생산성, 품질개선을 위한 제품 품질편향 실시간 보정 프로그램 기술 개발
사업명 제품공정개선기술개발사업
공고명 2015년도 제품ㆍ공정개선 기술개발사업 시행계획 공고
세부공고명 2015년도 제품ㆍ공정개선 기술개발사업 3차 신청(재신청 - 공정개선)
주관기관명 (주)네프코
관리기관명 경기지방중소벤처기업청
전문기관명 중소기업기술정보진흥원
정부출연금 39,000,000
과제상태 성공
산업기술분류 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비
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