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기술분야검색 리스트
No 사업분류 과제명 세부분야
542 창업과제-건강진단연계 최대 20,000cycle 운전이 가능한 FOUP 방식용 로드포트(Load Port) 웨이퍼 카세트 도어 개폐장치 개발기술 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비
541 첫걸음기술개발사업 세라믹 기판 잔류 이물질(기포) 제거용 진공 열처리 장치 열처리장비
540 첫걸음기술개발사업 반도체 제조 공정에 적용 가능한 하이브리드 댐퍼 개발 기타 반도체장비
539 도약기술개발사업 CMP 이송장치용 초장축 플라스틱 스크류 개발 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비
538 구매조건부신제품개발사업 반도체 및 LCD 설비공정용 Anti-Powder System 기타 반도체장비
537 구매조건부신제품개발사업 대구경 모재 생산을 위한 silica vaporizer 국산화 개발 증착장비
536 민관공동투자기술개발사업 Hybrid Type 분산설비 개발 기타 반도체장비
535 구매조건부신제품개발사업 DDI(Display Driver IC)가 탑재된 COF(Chip on Film)검사를 위한 필름형 프로브카드(FPC:Film Type Probe Card) 개발 측정/검사 장비
534 도약기술개발사업 반도체 세정장비의 효율의 높이는 IPA농도 측정 장치 개발 세정장비
533 첫걸음기술개발사업 NIS(No Initial Stress) 프로브 카드와 니들(needle) 내구성 평가 시스템 개발 측정/검사 장비
532 첫걸음기술개발사업 마이크로웨이브 열원유기체를 이용한 폐가스 분해 장치 개발 기타 반도체장비
531 1인 창조기업 반도체 제조용 탁상용 일체형 냉각트랩 개발 증착장비
530 도약기술개발사업 Magnetic Seal Coupling 및 thermo Element를 적용한 Dry Vavuum Pump 개발 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비
529 도약기술개발사업 반도체 제조설비 퍼니스용 Load Port 기술개발 기타 반도체장비
528 2013년 World Class 300 프로젝트 R&D 지원 신청 요령 20nm 이하 300mm 및 450mm 웨이퍼 가공용 Nitride, Oxide 및 Poly Etch Back 공정장비 개발 에칭 장비
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