512 |
산학융합 연구마을 지원사업 |
TNR 공정 자동화 검사장치 개발 |
측정/검사 장비 |
511 |
산학융합 연구마을 지원사업 |
전장부품 전수검사를 위한 Open Type X-ray 장치 개발 |
측정/검사 장비 |
510 |
첫걸음기술개발사업 |
임베디드 기반의 에너지 절감형 디밍제어시스템 설계 개발 |
기타 반도체장비 |
509 |
기술혁신개발사업 |
3D Package 및 수직형 LED 웨이퍼 범용 급가열/급냉각 성능의 웨이퍼 접합 장치 개발 |
기타 반도체장비 |
508 |
기술혁신개발사업 |
디스플레이 구동칩(DDI) 불량 검출을 위한 비전 검사 기술 및 장비 개발 |
측정/검사 장비 |
507 |
기술혁신개발사업 |
23"급 대면적 디스플레이 패널 대응을 위한 5um급 미세노광모듈 개발 |
노광 트랙장비 |
506 |
제품공정개선기술개발사업 |
박막 증착용 스퍼터의 고온 히터 개발 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
505 |
제품공정개선기술개발사업 |
반도체, LED, 전기전자 칩 부품의 초고속 검사 및 Reel Taping Machine 개발 |
기타 반도체장비 |
504 |
구매조건부신제품개발사업 |
자동차용 LED 램프의 인라인 휘도검사 시스템 개발 |
측정/검사 장비 |
503 |
민관공동투자기술개발사업 |
파티클 억제가 가능한 하향식 선형 증발 시스템 개발 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
502 |
민관공동투자기술개발사업 |
CVD 공정 시, 발생하는 부산물 분석을 통한 공정 분석 장치 개발 |
측정/검사 장비 |
501 |
구매조건부신제품개발사업 |
반도체/LCD공정에서 Interferometric을 이용한 실시간 두께 측정 및 종말점 검출 장치 기술 개발 |
기타 반도체장비 |
500 |
융복합기술개발사업-산연협력 |
COB타입 UV LED 광경화 엔진모듈과 MIR 경화방식의 하이브리드 경화기 시스템 |
노광 트랙장비 |
499 |
융복합기술개발사업-산연협력 |
연성기판(FPCB) 제작 나노금속잉크 소결용 고온 가스빔 열처리 장비 개발 |
열처리장비 |
498 |
기술혁신개발사업 |
협피치, 면배열 패드를 갖는 3D IC용 수직형 프로브 카드 개발 |
측정/검사 장비 |