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창닫기No | 사업분류 | 과제명 | 세부분야 |
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497 | 중소기업R&D기획지원사업 | 반도체 CMP 공정용 인서트 몰딩형 기반 신소재 적용 고성능 리테이너 링 개발 | 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
496 | 기술혁신개발사업 | 20nm급 반도체 공정용 Si 및 Poly-Si 박막 건식식각 장비개발 | 세정장비 |
495 | 기술혁신개발사업 | 대형인쇄회로기판대응 80um이하 마이크로 솔더볼 범프 형성장비 개발 | 패키징장비 |
494 | 첫걸음기술개발사업 | 신소재(meldin 7001)를 이용한 Super fine pitch 4W시험 Fixture Tool 개발 | 측정/검사 장비 |
493 | 도약기술개발사업 | 마이크로나노버블 Wet Scrubber개발 | 기타 반도체장비 |
492 | 첫걸음기술개발사업 | GLASS반송용 CARRIER자동 검사 장비 | 측정/검사 장비 |
491 | 창업과제-건강진단연계 | EMC 대책을 위한 소형 및 경량화 EMC SCANNER 개발 | 측정/검사 장비 |
490 | 창업과제-건강진단연계 | 틸팅 축 중심을 샤프트로 구성하는 초정밀(Nano급) 틸트 스테이지 장치 개발 | 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
489 | 첫걸음기술개발사업 | LCD/반도체 정전기 불량 방지를 위한 습도 센서 및 DI 미세분무장치 일체형 Sectional | 기타 반도체장비 |
488 | 첫걸음기술개발사업 | 휴대기기용 카메라 모듈의 완전 자동 초점 조정 및 검사장비 | 측정/검사 장비 |
487 | 제품공정개선기술개발사업 | 캐리어 테이프에 포장된 반도체 패키지 검사 및 양품교체 자동화 시스템 | 측정/검사 장비 |
486 | 창업과제-건강진단연계 | 피가공물의 고속, 정밀 이송 및 전방향 동시 정렬을 위한 포지셔닝 장치 개발 | 기타 반도체장비 |
485 | 기술혁신개발사업 | 펨토초 레이저 기반 다광자 흡수를 이용한 신개념 노광기술 개발 | 노광 트랙장비 |
484 | 민관공동투자기술개발사업 | 자공전 Cell 도금기 개발 | 기타 반도체장비 |
483 | 민관공동투자기술개발사업 | Energy 절감 및 분위기 구간제어가 가능한 RHK형 재산화로 개발 | 열처리장비 |