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| 과제번호 | S2090841 |
|---|---|
| 과제명 | 20nm급 반도체 공정용 Si 및 Poly-Si 박막 건식식각 장비개발 |
| 사업명 | 기술혁신개발사업 |
| 공고명 | 2013년도 중소기업 기술혁신개발사업 글로벌전략기술개발 시행계획 공고 |
| 세부공고명 | 기술혁신 글로벌전략기술개발 (글로벌강소기업육성과제-170개) 공고 |
| 주관기관명 | (주)테스 |
| 관리기관명 | 경기지방중소벤처기업청 |
| 전문기관명 | 한국산업기술평가관리원 |
| 정부출연금 | 800,000,000 |
| 과제상태 | 성공 |
| 산업기술분류 | 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 세정장비 |
30141 세종특별자치시 집현중앙로 79, 중소기업기술정보진흥원(TIPA)
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