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과제번호 S2078223
과제명 펨토초 레이저 기반 다광자 흡수를 이용한 신개념 노광기술 개발
사업명 기술혁신개발사업
공고명 2012년도 하반기 기획지원 연계사업 지원과제 등록 공고
세부공고명 기획지원사업의 기술혁신 미래선도 연계지원 과제
주관기관명 마이크로인스펙션(주)
관리기관명 서울지방중소벤처기업청
전문기관명 한국산업기술평가관리원
정부출연금 486,000,000
과제상태 성공
산업기술분류 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 노광 트랙장비
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