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창닫기No | 사업분류 | 과제명 | 세부분야 |
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407 | 창업성장기술개발사업 | 300mm wafer의 dry etch용 Wide body ESC | 에칭 장비 |
406 | 창업성장기술개발사업 | 반도체 및 LCD 장비에 사용되는 고정밀 실시간 다원 농도계 | 측정/검사 장비 |
405 | 창업성장기술개발사업 | 차세대 DDR 모듈 실장 Test용 Smart Power & Distribution System 개발 | 기타 반도체장비 |
404 | 제조현장녹색화기술개발사업 | 반도체, LED, Display 용 세라믹 핀 탭 제조공정녹색화기술개발 | 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
403 | 구매조건부신제품개발사업 | 25,000 probes 130㎛ fine pitch vertical probe-card 개발 | 측정/검사 장비 |
402 | 구매조건부신제품개발사업 | 반도체SPINNER 장비용 고성능 HOT plate적용 고열전도 소재 개발 | 노광 트랙장비 |
401 | 구매조건부신제품개발사업 | 150/200mm Single Type EPI Reactor 개발 | 증착장비 |
400 | 중소기업디자인역량강화지원사업 | 신시장 창출을 위한 전자카드 발급기 개발 | 기타 반도체장비 |
399 | 중소기업디자인역량강화지원사업 | LED Mapping Sorter 디자인 | 기타 반도체장비 |
398 | 중소기업기술혁신개발사업 | 3D Package 적층을 위한 Short Pulse Laser 미세 Via Hole 가공 장비 | 패키징장비 |
397 | 구매조건부신제품개발사업 | 박판용 Roll Laminator 개발 | 기타 반도체장비 |
396 | 중소기업기술혁신개발사업 | 초저온 수소가스 정제 시스템 | 기타 반도체장비 |
395 | 연구장비활용기술개발사업 | 첨단 진공평가 장비를 이용한 고신뢰성 Etcher용 전극 개발 | 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
394 | 연구장비활용기술개발사업 | 반도체 패키지 bumping용 프린팅 기술 개발 | 패키징장비 |
393 | 연구장비활용기술개발사업 | 박막 회로 저항 개발 및 신뢰성 평가 | 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |