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과제번호 SA113885
과제명 3D Package 적층을 위한 Short Pulse Laser 미세 Via Hole 가공 장비
사업명 중소기업기술혁신개발사업
공고명 2011년 중소기업 기술혁신개발사업 투자연계과제
세부공고명 수입대체 분야
주관기관명 제너셈(주)
관리기관명 인천지방중소벤처기업청
전문기관명 한국산업기술평가관리원
정부출연금 800,000,000
과제상태 성공
산업기술분류 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 패키징장비
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