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| 과제번호 | SV122433 |
|---|---|
| 과제명 | 첨단 진공평가 장비를 이용한 고신뢰성 Etcher용 전극 개발 |
| 사업명 | 연구장비활용기술개발사업 |
| 공고명 | 2011년도 산연기술개발사업 지원계획 공고 |
| 세부공고명 | 기업 제안과제(자유응모과제)-상반기 |
| 주관기관명 | 한국표준과학연구원 |
| 관리기관명 | 인천지방중소벤처기업청 |
| 전문기관명 | 중소기업기술정보진흥원 |
| 정부출연금 | 135,000,000 |
| 과제상태 | 성공 |
| 산업기술분류 | 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
30141 세종특별자치시 집현중앙로 79, 중소기업기술정보진흥원(TIPA)
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