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창닫기No | 사업분류 | 과제명 | 세부분야 |
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467 | 창업성장-첫걸음기업지원사업 | 반도체 웨이퍼용 고효율 Batch식 세정조 및 세정구동모듈 개발 | 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
466 | 창업성장-건강관리연계 | 반도체 제조장비용 핫플레이트 | 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
465 | 민관공동투자기술개발사업 | 미세 pitch PCB용 전기검사 지그 개발 | 측정/검사 장비 |
464 | 민관공동투자기술개발사업 | Almighty Tester 개발 | 측정/검사 장비 |
463 | 해외수요처연계기술개발사업 | 차세대 극자외선(EUV)용 트랙장비에 적용 가능한 고정밀 항온.항습기 개발 | 노광 트랙장비 |
462 | 창업성장-건강관리연계 | 파우더 코팅 장치 및 코팅 방법 | 증착장비 |
461 | 창업성장-건강관리연계 | 품질 개선을 통한 외산 Vector 및 Extreme Al Heater의 국산화 개발 | 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
460 | 창업성장-건강관리연계 | Roller Type 반도체용 Door Valve 개발 | 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
459 | 기술혁신개발사업 | 이종 기판 초고속 Cutting을 위한 Laser 기술 | 패키징장비 |
458 | 기술혁신개발사업 | 반도체 3D 패키지용 고생산성 TSV Passivation 핵심모듈 및 저온 공정기술 개발 | 증착장비 |
457 | 기술혁신개발사업 | 일체형 밸브 컨트롤 시스템 개발 | 증착장비 |
456 | 민관공동투자기술개발사업 | X-TAL 용 Seam Sealer In-line system 개발 | 기타 반도체장비 |
455 | 연구장비활용기술개발사업 | 대면적 증착용 Magnetron Sputter 시뮬레이터 개발 | 증착장비 |
454 | 중소기업이전기술개발사업(KEIT) | 반도체 웨이퍼 검사용 200nm급 극정밀 방사선 영상 기술 개발 | 측정/검사 장비 |
453 | 연구장비활용기술개발사업 | 반도체소자 불량분석을 위한 열영상현미경 기반의 서브-마이크론급 고분해능 결함 검사장비 기술 개발 | 측정/검사 장비 |