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과제번호 S2073897
과제명 반도체 제조장비용 핫플레이트
사업명 창업성장-건강관리연계
공고명 2012년도 중소기업 건강관리시스템(RnD 연계사업)
세부공고명 건강관리 연계지원 심층평가과제
주관기관명 (주)이지스솔루션
관리기관명 경기지방중소벤처기업청
전문기관명 중소기업기술정보진흥원
정부출연금 94,000,000
과제상태 성공
산업기술분류 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비
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