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| 과제번호 | S2073456 |
|---|---|
| 과제명 | 차세대 극자외선(EUV)용 트랙장비에 적용 가능한 고정밀 항온.항습기 개발 |
| 사업명 | 해외수요처연계기술개발사업 |
| 공고명 | 2012년도 해외수요처연계기술개발사업 글로벌협력과제, 기업제안과제 접수공고 |
| 세부공고명 | 2012년도 해외수요처연계기술개발사업 글로벌협력과제(2차) 접수공고 |
| 주관기관명 | 멜콘(주) |
| 관리기관명 | 대중소기업협력재단 |
| 전문기관명 | 한국산업기술평가관리원 |
| 정부출연금 | 500,000,000 |
| 과제상태 | 성공 |
| 산업기술분류 | 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 노광 트랙장비 |
30141 세종특별자치시 집현중앙로 79, 중소기업기술정보진흥원(TIPA)
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