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과제번호 SG113036
과제명 150/200mm Single Type EPI Reactor 개발
사업명 구매조건부신제품개발사업
공고명 2011년도 구매조건부 신제품개발사업 시행계획 공고
세부공고명 수요조사과제(4차 및 1,2차)
주관기관명 (주)피제이피테크
관리기관명 경기지방중소벤처기업청
전문기관명 한국산업기술평가관리원
정부출연금 360,000,000
과제상태 성공
산업기술분류 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 증착장비
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