422 |
연구장비활용기술개발사업 |
프로브 카드 SPACE TRANSFORMER용 글라스 기반 기판 제작 기술 개발 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
421 |
창업성장-기술개발사업 |
Photo Resist 공정을 위한 MEP(Manifold Exhaust Pressure) 모니터링 및 제어시스템 개발 |
측정/검사 장비 |
420 |
창업성장-기술개발사업 |
반도체 생산공정의 Sorter를 위한 MVMS(Machine Vision Monitoring System) 개발 |
측정/검사 장비 |
419 |
창업성장-기술개발사업 |
고효율 Power LED 제작용 Solder Tape Bonder (LDB-T1) 개발 |
패키징장비 |
418 |
창업성장-건강관리연계 |
Reticle(Mask) 세정용 Multi 제어 Hot Plate 장치 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
417 |
기술혁신개발사업 |
전자융합공정기반 TSV 구리박막 제조장비용 핵심모듈 개발 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
416 |
기술혁신개발사업 |
반도체패키지에 대한 Vision Inspection, Test, Laser Marking 및 Packing System 개발 |
패키징장비 |
415 |
기술혁신개발사업 |
Coherent Infrared Laser 활용 의료 및 산업용 표면촬상 영상처리 플랫폼 연구개발 타당성 검토 |
측정/검사 장비 |
414 |
기술혁신개발사업 |
반도체 공장용 PLC 통신기반 FFU 제어시스템 개발 |
기타 반도체장비 |
413 |
민관공동투자기술개발사업 |
Color(Hybrid) AFVI 개발 |
측정/검사 장비 |
412 |
민관공동투자기술개발사업 |
자동 Lay-Up 설비 |
기타 반도체장비 |
411 |
연구장비활용기술개발사업 |
상용 고속 IC On-Wafer 검증 기술개발 |
측정/검사 장비 |
410 |
창업성장기술개발사업 |
고출력(1kw이상급) 에어히터(Air-heater) 최초 국산화 제조기술 개발 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
409 |
창업성장기술개발사업 |
고밀도 PCB 절연층 투과식 두께측정 프로브 개발 |
측정/검사 장비 |
408 |
창업성장기술개발사업 |
집속이온빔 장치 및 주사 전자 현미경을 위한 주사파 발생 및 가공용 패턴 장치 개발 |
측정/검사 장비 |