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과제번호 SM124244
과제명 집속이온빔 장치 및 주사 전자 현미경을 위한 주사파 발생 및 가공용 패턴 장치 개발
사업명 창업성장기술개발사업
공고명 2011년도 중소기업 창업성장기술개발사업 시행계획공고
세부공고명 창업과제하반기
주관기관명 (주)유메카
관리기관명 경기지방중소벤처기업청
전문기관명 중소기업기술정보진흥원
정부출연금 154,652,000
과제상태 성공
산업기술분류 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 측정/검사 장비
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