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| 과제번호 | S2009881 |
|---|---|
| 과제명 | Photo Resist 공정을 위한 MEP(Manifold Exhaust Pressure) 모니터링 및 제어시스템 개발 |
| 사업명 | 창업성장-기술개발사업 |
| 공고명 | 2012년도 창업성장기술개발사업 시행계획 공고 (창업과제 ,성장과제) |
| 세부공고명 | 2012년도 창업성장기술개발 성장과제(창업5년이상) 시행계획 공고 |
| 주관기관명 | (주)맥스텍 |
| 관리기관명 | 대전세종지방중소벤처기업청 |
| 전문기관명 | 중소기업기술정보진흥원 |
| 정부출연금 | 165,051,000 |
| 과제상태 | 성공 |
| 산업기술분류 | 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 측정/검사 장비 |
30141 세종특별자치시 집현중앙로 79, 중소기업기술정보진흥원(TIPA)
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