527 |
제품공정개선기술개발사업 |
Arc Plasma Power Supply 제품 개선 |
기타 반도체장비 |
526 |
제품공정개선기술개발사업 |
DDR메모리반도체 소켓보드 세정장치 자동화 공정 개선 |
패키징장비 |
525 |
도약기술개발사업 |
완전 자동 반도체 패키징 접합 전단력 테스트 와 3차원 비젼 측정 기능이 통합된 자동 비젼 Bond Tester 장비 개발 |
측정/검사 장비 |
524 |
도약기술개발사업 |
반도체 웨이퍼 후 공정용 다공질 세라믹 흡착 Plate 개발 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
523 |
창업과제-건강진단연계 |
열압착기술과 고정밀 위치제어기술을 적용한 레이저 다이오우드(LD)제조용 유텍틱 다이 마운트(Eutectic die mount) 장비개발 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
522 |
민관공동투자기술개발사업 |
칩 저항용 고속형 정밀 Screen Printer 개발 |
기타 반도체장비 |
521 |
개별기업기술로드맵지원사업 |
선폭변화결정지수 Z를 위한 고정밀 실시간 삼원농도계 |
측정/검사 장비 |
520 |
과제발굴연구회사업 |
플렉서블 및 대면적 OLED용 공정 장비와 핵심 소재 기술 기획 |
증착장비 |
519 |
제품공정개선기술개발사업 |
반도체 생산공정의 lndex Speed Up 기술 개발 |
세정장비 |
518 |
구매조건부신제품개발사업 |
저압 PECVD 공정 유입 Source의 실시간 모니터링을 위한 In-Situ 적외선 분광 분석기 개발 |
측정/검사 장비 |
517 |
구매조건부신제품개발사업 |
대면적 반도체 기판용(300mm이상) Hot Plate 및 Cooling, Heating Pedestal 부품개발 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
516 |
창업과제-건강진단연계 |
전자식 임피던스 정합기 개발 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
515 |
창업과제-건강진단연계 |
반도체 Track장비용 초정밀 세라믹 히터 개발 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
514 |
창업과제-건강진단연계 |
V-NAND Flash device향 박막 증착 가상 계측 system 개발 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
513 |
창업과제-건강진단연계 |
시스템 레벨 eMMC 테스트 장비 개발 |
측정/검사 장비 |