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| 과제번호 | S2121924 |
|---|---|
| 과제명 | 저압 PECVD 공정 유입 Source의 실시간 모니터링을 위한 In-Situ 적외선 분광 분석기 개발 |
| 사업명 | 구매조건부신제품개발사업 |
| 공고명 | 2013년도 구매조건부 신제품개발사업 수요조사과제(2차) 과제제안요청서(RFP) 목록 및 과제접수 공고 |
| 세부공고명 | 2013년도 구매조건부신제품개발사업 민간 수요조사과제(2차) 과제신청 공고 |
| 주관기관명 | 코리아스펙트랄프로덕츠(주) |
| 관리기관명 | 서울지방중소벤처기업청 |
| 전문기관명 | 한국산업기술평가관리원 |
| 정부출연금 | 460,000,000 |
| 과제상태 | 성공 |
| 산업기술분류 | 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 측정/검사 장비 |
30141 세종특별자치시 집현중앙로 79, 중소기업기술정보진흥원(TIPA)
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