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과제번호 C0134568
과제명 반도체 웨이퍼 후 공정용 다공질 세라믹 흡착 Plate 개발
사업명 도약기술개발사업
공고명 2013년도 산학연협력 기술개발사업 시행계획 공고
세부공고명 2013년 도약기술개발사업(5)
주관기관명 금오공과대학교산학협력단
관리기관명 대구경북지방중소벤처기업청
전문기관명 한국산학연협회
정부출연금 66,000,000
과제상태 성공
산업기술분류 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비
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