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| 과제번호 | S2120411 |
|---|---|
| 과제명 | 선폭변화결정지수 Z를 위한 고정밀 실시간 삼원농도계 |
| 사업명 | 개별기업기술로드맵지원사업 |
| 공고명 | 2013년 개별기업 기술로드맵지원사업 시행계획 공고 |
| 세부공고명 | 2013년 개별기업 기술로드맵지원사업 시행계획-신규과제 |
| 주관기관명 | (주)세미로드 |
| 관리기관명 | 중소기업기술정보진흥원 |
| 전문기관명 | 중소기업기술정보진흥원 |
| 정부출연금 | 22,500,000 |
| 과제상태 | 성공 |
| 산업기술분류 | 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 측정/검사 장비 |
30141 세종특별자치시 집현중앙로 79, 중소기업기술정보진흥원(TIPA)
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