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| 과제번호 | S2091341 |
|---|---|
| 과제명 | 반도체 CMP 공정용 인서트 몰딩형 기반 신소재 적용 고성능 리테이너 링 개발 |
| 사업명 | 중소기업R&D기획지원사업 |
| 공고명 | 2013년도 중소기업 R&D기획지원사업 시행계획(1차) 공고 |
| 세부공고명 | 2013년도 중소기업 R&D기획지원사업 시행계획(혁신과제) - 단독 |
| 주관기관명 | (주)윌비에스엔티 |
| 관리기관명 | 중소기업기술정보진흥원 |
| 전문기관명 | 중소기업기술정보진흥원 |
| 정부출연금 | 19,500,000 |
| 과제상태 | 성공 |
| 산업기술분류 | 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
30141 세종특별자치시 집현중앙로 79, 중소기업기술정보진흥원(TIPA)
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