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| 과제번호 | S2099868 |
|---|---|
| 과제명 | 반도체/LCD공정에서 Interferometric을 이용한 실시간 두께 측정 및 종말점 검출 장치 기술 개발 |
| 사업명 | 구매조건부신제품개발사업 |
| 공고명 | 2013년도 구매조건부신제품개발사업 (수요조사, 기업제안) 과제접수 공고 |
| 세부공고명 | 2013년도 구매조건부신제품개발사업 민간 수요조사과제(1차) 과제신청 공고 |
| 주관기관명 | 피코앤테라(주) |
| 관리기관명 | 경기지방중소벤처기업청 |
| 전문기관명 | 한국산업기술평가관리원 |
| 정부출연금 | 460,000,000 |
| 과제상태 | 성공 |
| 산업기술분류 | 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 기타 반도체장비 |
30141 세종특별자치시 집현중앙로 79, 중소기업기술정보진흥원(TIPA)
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