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과제번호 S2111121
과제명 반도체 제조용 탁상용 일체형 냉각트랩 개발
사업명 1인 창조기업
공고명 2013년도 중소기업 창업성장기술개발사업 1인 창조기업 과제 시행계획 공고
세부공고명 단독과제
주관기관명 이에이스
관리기관명 충북지방중소벤처기업청
전문기관명 중소기업기술정보진흥원
정부출연금 49,100,000
과제상태 성공
산업기술분류 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 증착장비
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