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| 과제번호 | S2138013 |
|---|---|
| 과제명 | 최대 20,000cycle 운전이 가능한 FOUP 방식용 로드포트(Load Port) 웨이퍼 카세트 도어 개폐장치 개발기술 |
| 사업명 | 창업과제-건강진단연계 |
| 공고명 | 2013년도 건강진단연계형 창업성장기술개발사업 시행계획 공고 |
| 세부공고명 | 건강진단연계형 창업성장기술개발사업(2월-재신청) |
| 주관기관명 | (주)유에스티 |
| 관리기관명 | 경기지방중소벤처기업청 |
| 전문기관명 | 중소기업기술정보진흥원 |
| 정부출연금 | 129,610,000 |
| 과제상태 | 성공 |
| 산업기술분류 | 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
30141 세종특별자치시 집현중앙로 79, 중소기업기술정보진흥원(TIPA)
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