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과제번호 S2139797
과제명 대구경 모재 생산을 위한 silica vaporizer 국산화 개발
사업명 구매조건부신제품개발사업
공고명 2013년도 구매조건부신제품개발사업 기업제안 3차 과제접수 공고
세부공고명 2013년도 구매조건부신제품개발사업 민간 기업제안 3차 과제접수 공고
주관기관명 (주)에스티아이
관리기관명 대구경북지방중소벤처기업청
전문기관명 한국산업기술평가관리원
정부출연금 215,000,000
과제상태 성공
산업기술분류 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 증착장비
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