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과제번호 C0138013
과제명 Magnetic Seal Coupling 및 thermo Element를 적용한 Dry Vavuum Pump 개발
사업명 도약기술개발사업
공고명 2013년도 산학연협력 기술개발사업 시행계획 공고
세부공고명 2013년 도약기술개발사업(6)
주관기관명 (재)한국화학융합시험연구원
관리기관명 경기지방중소벤처기업청
전문기관명 한국산학연협회
정부출연금 58,274,000
과제상태 성공
산업기술분류 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비
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