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과제번호 C0147517
과제명 CMP 이송장치용 초장축 플라스틱 스크류 개발
사업명 도약기술개발사업
공고명 2013년도 산학연협력 기술개발사업 시행계획 공고
세부공고명 2013년 도약기술개발사업(8)
주관기관명 한국섬유기계융합연구원
관리기관명 대구경북지방중소벤처기업청
전문기관명 한국산학연협회
정부출연금 63,000,000
과제상태 성공
산업기술분류 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비
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