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과제번호 S2374256
과제명 자동기류조정장치가 적용된 Chamber Uniformity ±3℃이내의 반도체 산업용 Hi Speed Burn-in Chamber 개발
사업명 구매조건부기술개발사업(국내수요처)
공고명 2016년도 구매조건부신제품개발사업 국내수요처 기업제안과제 접수공고
세부공고명 2016년도 구매조건부신제품개발사업 국내수요처 1차 기업제안과제 시행계획 공고
주관기관명 블루이엔지
관리기관명 경기지방중소벤처기업청
전문기관명 중소기업기술정보진흥원
정부출연금 250,000,000
과제상태 실패
산업기술분류 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 측정/검사 장비
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