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창닫기No | 사업분류 | 과제명 | 세부분야 |
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588 | 산연전용 기술개발사업 | 전력반도체 TJ 추정기술 기반 파워사이클링 가속시험장치 개발 | 측정/검사 장비 |
587 | 첫걸음 R&D | 시스템 반도체를 위한 Chip Level 저주파 노이즈 분석기술 및 분석시스템 개발 | 측정/검사 장비 |
586 | 첫걸음 R&D | C-TRAY내 잔존 디바이스 및 이물 검출 시스템 | 측정/검사 장비 |
585 | 제품공정개선기술개발사업 | 초박판 대면적 Display panel slimming을 위한 초경량고집적 Cassette개발 | 에칭 장비 |
584 | 창업성장-건강진단연계 | N2 PURGE 기능 외에 습도와 산소농도가 실측 관리되고 Particle을 감소시키는 기능을 추가하는 다기능 로드포트 장치의 개발 | 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
583 | 창업성장-건강진단연계 | eMMC ADAPTIVE TEST EQUIPMENT(MATE)의 기술개발 | 측정/검사 장비 |
582 | 창업성장-건강진단연계 | 전력 사용률 30% 절감이 가능한 사파이어 잉곳 그로어용 히터 Power Supply 개발 | 열처리장비 |
581 | 창업성장-건강진단연계 | 위상차 영상처리기법을 적용한 고정밀 냉음극기반 엑스선 비파괴검사장비 개발 | 측정/검사 장비 |
580 | 기술혁신개발사업 | 반도체 CMP 공정용 인서트 몰딩형 기반 신소재 적용 고성능 리테이너 링 개발 | 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
579 | TIPS 프로그램(민간투자주도형 기술창업 지원) | 글로벌시장형 사업 테스트용 과제_No1 | 노광 트랙장비 |
578 | 연구장비 공동활용지원사업 | 습식식각보호막용 고분자재료 개발 | 에칭 장비 |
577 | 연구장비 공동활용지원사업 | 차세대 포토마스크 및 PR master 개발 | 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
576 | 연구장비 공동활용지원사업 | Fine pitch 테스트용 소켓개발 | 기타 반도체장비 |
575 | 연구장비 공동활용지원사업 | Probe card용 MEMS probe 제작 및 평가 | 측정/검사 장비 |
574 | 연구장비 공동활용지원사업 | 초정밀 웨이퍼 조도 개선을 위한 공정 개발 | 폴리싱(CMP) 장비 |