677 |
창업성장-기술개발사업 |
High Speed NAND Flash Tester (HiNT) |
측정/검사 장비 |
676 |
도약기술개발사업 |
투명 전도성 산화물 충진 정전기 방전용 포토마스크 개발 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
675 |
첫걸음기술개발사업 |
반응가스 대신 단거리 플라즈마 (short-range plasma)를 이용하여 고품질 박막 형성과 쓰루풋 (throughput) 향상 시키는 플라즈마 촉진 원자층 증착 장비 개발 |
증착장비 |
674 |
첫걸음기술개발사업 |
차세대 CCM(compact camera module) 성능 검사를 위한 운영 체제 독립형 검사 시스템 개발 |
측정/검사 장비 |
673 |
기술혁신개발사업 |
대전방지 기능이 추가된 저밀도, 고강도 블랙 세라믹 소재 및 노광 장비용 스테이지 개발 |
노광 트랙장비 |
672 |
구매조건부신제품개발사업 |
Wafer Level Burn In Tester 자동화를 위한 핸들러(FXH-XP)개발 |
측정/검사 장비 |
671 |
기술혁신개발사업 |
반도체 세정공정의 금속오염 관리를 위한 ppt급 고감도 모니터링 기술개발 |
측정/검사 장비 |
670 |
기술혁신개발사업 |
SMD LED 패키지 CIE색좌표 보정을 위한 고정밀 디스펜싱 시스템 개발 |
패키징장비 |
669 |
기술혁신개발사업 |
10nm급 반도체 공정용 Nitride Gap-fill 장비 및 공정 개발 |
증착장비 |
668 |
창업성장-기술개발사업 |
Taping공정 생략으로 0.2sec/ea이내로 생산이 가능한 Multi- LED Chip Bonding 장비의 개발 |
패키징장비 |
667 |
창업성장-기술개발사업 |
LED MOCVD용 Air BATH개발 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
666 |
창업성장-기술개발사업 |
반도체 FOWLP(Fan-Out Wafer Level Packaging) 공법용 EMC(Epoxy Molding Compound) Dispenser 개발 |
패키징장비 |
665 |
WC300 R&D |
0.3mm Pitch, 5,000Pin을 갖는 Soc 테스트용 실리콘 러버 소켓 및 장치 개발 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
664 |
WC300 R&D |
20nm 이하 300mm 및 450mm 웨이퍼 가공용 Nitride, Oxide 및 Poly Etch Back 공정장비 개발 |
세정장비 |
663 |
제품공정개선기술개발사업 |
청정작업장Device내 제습기능을 탑재한 제습형 F.F.U/E.F.U 성능개선 |
기타 반도체장비 |