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과제번호 S2296220
과제명 대전방지 기능이 추가된 저밀도, 고강도 블랙 세라믹 소재 및 노광 장비용 스테이지 개발
사업명 기술혁신개발사업
공고명 2015년도 글로벌전략기술개발사업 글로벌경쟁과제(일반) 시행계획 공고
세부공고명 2015년 글로벌경쟁과제(일반) 시행계획 공고
주관기관명 (주)위지트
관리기관명 인천지방중소벤처기업청
전문기관명 중소기업기술정보진흥원
정부출연금 800,000,000
과제상태 성공
산업기술분류 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 노광 트랙장비
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