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| 과제번호 | C0352763 |
|---|---|
| 과제명 | 반응가스 대신 단거리 플라즈마 (short-range plasma)를 이용하여 고품질 박막 형성과 쓰루풋 (throughput) 향상 시키는 플라즈마 촉진 원자층 증착 장비 개발 |
| 사업명 | 첫걸음기술개발사업 |
| 공고명 | 2015년도 산학연협력 기술개발사업(일반형) 첫걸음R&D 시행 공고 |
| 세부공고명 | 2015년도 산학연협력 기술개발사업(일반 첫걸음-타지역) 3차 |
| 주관기관명 | 한양대학교산학협력단 |
| 관리기관명 | 대전세종지방중소벤처기업청 |
| 전문기관명 | 한국산학연협회 |
| 정부출연금 | 77,000,000 |
| 과제상태 | 성공 |
| 산업기술분류 | 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 증착장비 |
30141 세종특별자치시 집현중앙로 79, 중소기업기술정보진흥원(TIPA)
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