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| 과제번호 | S2306139 |
|---|---|
| 과제명 | 10nm급 반도체 공정용 Nitride Gap-fill 장비 및 공정 개발 |
| 사업명 | 기술혁신개발사업 |
| 공고명 | 2015년도 중소기업기술혁신개발사업 혁신기업기술개발(혁신형기업, 고성장기업) 시행계획 공고 |
| 세부공고명 | 2015년도 중소기업기술혁신개발사업 혁신기업기술개발(혁신형기업) |
| 주관기관명 | (주)테스 |
| 관리기관명 | 경기지방중소벤처기업청 |
| 전문기관명 | 중소기업기술정보진흥원 |
| 정부출연금 | 420,000,000 |
| 과제상태 | 성공 |
| 산업기술분류 | 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 증착장비 |
30141 세종특별자치시 집현중앙로 79, 중소기업기술정보진흥원(TIPA)
Copyright ⓒ 중소기업기술정보진흥원. All Rights Reserved.
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